清(qīng)空(kōng)記(jì)录(lù)
曆史記(jì)录(lù)
取(qǔ)消
清(qīng)空(kōng)記(jì)录(lù)
曆史記(jì)录(lù)
浏覽器自(zì)带(dài)分(fēn)享功能(néng)也(yě)很好(hǎo)用(yòng)哦~GT系(xì)列高(gāo)端光(guāng)學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜設備用(yòng)于(yú)制備近(jìn)紫外(wài)波(bō)段(duàn)至(zhì)近(jìn)紅(hóng)外(wài)波(bō)段(duàn)的(de)窄(zhǎi)带(dài)濾光(guāng)膜以(yǐ)及(jí)IR-CUT等規整及(jí)非(fēi)規整膜系(xì)。
設備特(tè)點(diǎn)：
· 腔體(tǐ)尺(chǐ)寸(cùn)φ1150-φ1800mm
· 高(gāo)精度(dù)直(zhí)接/间接光(guāng)學(xué)膜厚監控系(xì)统
· 高(gāo)離子流密度(dù)射頻離子源
· 双電(diàn)子槍，多(duō)點(diǎn)和(hé)环(huán)型坩埚可(kě)鍍100层(céng)以(yǐ)上(shàng)
· ACS全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜控制系(xì)统實(shí)現(xiàn)全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜过(guò)程
· 工件(jiàn)架可(kě)選擇球傘(sǎn)式、行星(xīng)式或(huò)翻轉(zhuǎn)式
· 排气(qì)系(xì)统低真(zhēn)空(kōng)泵組+高(gāo)真(zhēn)空(kōng)泵組+深冷(lěng)
GT-1600主(zhǔ)要(yào)規格參數：
| 真(zhēn)空(kōng)腔室尺(chǐ)寸(cùn) | SUS304 φ1800mmx1900mm（H） |
| 工件(jiàn)盤有(yǒu)效鍍膜尺(chǐ)寸(cùn) | φ1680mm |
| 基闆回(huí)轉(zhuǎn)速度(dù) | 3r/min-30r/min(可(kě)變(biàn)) |
| 光(guāng)學(xué)膜厚監控 | 直(zhí)接監控 波(bō)长(cháng)範圍：360nm-2400nm 波(bō)长(cháng)精度(dù)：＜±1nm 監控器類(lèi)型：透射 |
| 晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
| 蒸發(fà)源 | E型電(diàn)子槍2套(tào) |
| 離子源 | GTRF23 |
| 真(zhēn)空(kōng)排气(qì) | 機(jī)械泵+分(fēn)子泵/低温(wēn)泵/+深冷(lěng)捕集泵 |
基本(běn)性能(néng)：
| 极(jí)限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
| 排气(qì)时(shí)间 | 大气(qì)-3.0x10-3Pa/12min/常温(wēn)空(kōng)载(zài) |
| 基闆温(wēn)度(dù) | 最(zuì)高(gāo)350℃ |
工作(zuò)条件(jiàn)：
| 空(kōng)间要(yào)求 | 約2.7m（宽(kuān)）x4.6m（深）x2.7m（高(gāo)） |
| 電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約80kw |
| 冷(lěng)卻水(shuǐ)要(yào)求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
| 壓縮空(kōng)气(qì) | 0.6MPa |
| 設備重(zhòng)量(liàng) | 約12000kg |
GT-1800直(zhí)接光(guāng)控光(guāng)學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜機(jī)
GT系(xì)列高(gāo)端光(guāng)學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜設備用(yòng)于(yú)制備近(jìn)紫外(wài)波(bō)段(duàn)至(zhì)近(jìn)紅(hóng)外(wài)波(bō)段(duàn)的(de)窄(zhǎi)带(dài)濾光(guāng)膜以(yǐ)及(jí)IR-CUT等規整及(jí)非(fēi)規整膜系(xì)。
設備特(tè)點(diǎn)：
· 腔體(tǐ)尺(chǐ)寸(cùn)φ1150-φ1800mm
· 高(gāo)精度(dù)直(zhí)接/间接光(guāng)學(xué)膜厚監控系(xì)统
· 高(gāo)離子流密度(dù)射頻離子源
· 双電(diàn)子槍，多(duō)點(diǎn)和(hé)环(huán)型坩埚可(kě)鍍100层(céng)以(yǐ)上(shàng)
· ACS全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜控制系(xì)统實(shí)現(xiàn)全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜过(guò)程
· 工件(jiàn)架可(kě)選擇球傘(sǎn)式、行星(xīng)式或(huò)翻轉(zhuǎn)式
· 排气(qì)系(xì)统低真(zhēn)空(kōng)泵組+高(gāo)真(zhēn)空(kōng)泵組+深冷(lěng)
GT-1600主(zhǔ)要(yào)規格參數：
| 真(zhēn)空(kōng)腔室尺(chǐ)寸(cùn) | SUS304 φ1800mmx1900mm（H） |
| 工件(jiàn)盤有(yǒu)效鍍膜尺(chǐ)寸(cùn) | φ1680mm |
| 基闆回(huí)轉(zhuǎn)速度(dù) | 3r/min-30r/min(可(kě)變(biàn)) |
| 光(guāng)學(xué)膜厚監控 | 直(zhí)接監控 波(bō)长(cháng)範圍：360nm-2400nm 波(bō)长(cháng)精度(dù)：＜±1nm 監控器類(lèi)型：透射 |
| 晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
| 蒸發(fà)源 | E型電(diàn)子槍2套(tào) |
| 離子源 | GTRF23 |
| 真(zhēn)空(kōng)排气(qì) | 機(jī)械泵+分(fēn)子泵/低温(wēn)泵/+深冷(lěng)捕集泵 |
基本(běn)性能(néng)：
| 极(jí)限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
| 排气(qì)时(shí)间 | 大气(qì)-3.0x10-3Pa/12min/常温(wēn)空(kōng)载(zài) |
| 基闆温(wēn)度(dù) | 最(zuì)高(gāo)350℃ |
工作(zuò)条件(jiàn)：
| 空(kōng)间要(yào)求 | 約2.7m（宽(kuān)）x4.6m（深）x2.7m（高(gāo)） |
| 電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約80kw |
| 冷(lěng)卻水(shuǐ)要(yào)求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
| 壓縮空(kōng)气(qì) | 0.6MPa |
| 設備重(zhòng)量(liàng) | 約12000kg |
取(qǔ)消
清(qīng)空(kōng)記(jì)录(lù)
曆史記(jì)录(lù)
清(qīng)空(kōng)記(jì)录(lù)
曆史記(jì)录(lù)
川(chuān)公(gōng)网(wǎng)安(ān)備51011502001035号(hào)
蜀ICP備2021006026号(hào)-2