GTRF-17/23/26/30射頻離子源

　　設備簡介：

　　国泰真(zhēn)空(kōng)全(quán)自(zì)主(zhǔ)研發(fà)設計(jì)制造的(de)GTRF-17和(hé)GTRF-23射頻離子源主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于(yú)精密光學(xué)鍍膜，它(tā)具有(yǒu)能(néng)量(liàng)高(gāo)、能(néng)量(liàng)分(fēn)布(bù)均勻性(xìng)好(hǎo)、工作(zuò)时間(jiān)长(cháng)、污染小等优點(diǎn)，在(zài)鍍膜領域的(de)主(zhǔ)要(yào)應(yìng)用(yòng)是(shì)離子束(shù)輔助沉積和(hé)離子束(shù)清(qīng)洗等。

　　設備主(zhǔ)要(yào)規格參數：

型号(hào)	GTRF-17	GTRF-23(26)	GTRF-30
栅网(wǎng)直(zhí)徑（mm）	170	230(260)	300
BEAM電(diàn)流（mA）	1500	1500	3000
BEAM電(diàn)壓（V）	1500	1500	2000
ACC電(diàn)壓（V）	1000	1000	1000
中(zhōng)和(hé)比E/B（%）	100-200	100-200	100-200
連(lián)續使用(yòng)时間(jiān)（h）	≥500	≥500	≥500
推薦使用(yòng)機(jī)型	1150-1350	1550-1800	2050-2700

　　操作(zuò)主(zhǔ)界面(miàn)：

　　工艺應(yìng)用(yòng)：

　　IR-CUT曲(qū)線(xiàn)實(shí)測：

　　环境測試：

　　水煮15分(fēn)钟後(hòu)，曲(qū)線(xiàn)無漂移

　　水煮後(hòu)經(jīng)3M胶(jiāo)带(dài)白(bái)格測試未發(fà)現(xiàn)脫膜

　　運行狀态：

　　射頻離子源通(tòng)过(guò)改進(jìn)能(néng)量(liàng)和(hé)電(diàn)流的(de)均勻性(xìng)，提(tí)高(gāo)了(le)膜层(céng)的(de)堆(duī)積密度(dù)和(hé)材料的(de)氧化(huà)度(dù)，從而抑制膜层(céng)的(de)温(wēn)度(dù)漂移及(jí)波(bō)长(cháng)漂移!同(tóng)时解(jiě)決了(le)膜层(céng)牢固度(dù)和(hé)膜料折射率等問(wèn)題(tí)。