清(qīng)空(kōng)记录(lù)
曆史记录(lù)
取(qǔ)消
清(qīng)空(kōng)记录(lù)
曆史记录(lù)
GTV-2050光學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜機(jī)
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浏覽器自(zì)带(dài)分(fēn)享功能(néng)也(yě)很好(hǎo)用(yòng)哦~
GTV系(xì)列光學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜設備可(kě)用(yòng)于(yú)濾光片、常規AR-玻璃、常規AR-树脂类等膜産品的(de)量(liàng)産。
設備特(tè)點(diǎn)：
· 腔体尺寸(cùn)φ600-φ2700mm
· 高(gāo)離子流密度(dù)射頻離子源
· 双電(diàn)子槍，多(duō)點(diǎn)和(hé)环型坩埚可(kě)鍍100层(céng)以(yǐ)上(shàng)
· ACS全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜控制系(xì)統實(shí)現(xiàn)全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜过(guò)程
· 工件(jiàn)架可(kě)選择球傘(sǎn)式、行星(xīng)式或(huò)翻轉(zhuǎn)式
· 排气(qì)系(xì)統低(dī)真(zhēn)空(kōng)泵組+高(gāo)真(zhēn)空(kōng)泵組+深冷
GTV-2050主(zhǔ)要(yào)規格參數：
真(zhēn)空(kōng)腔室(shì)尺寸(cùn) | SUS304 φ2050mmx1400mm（H） |
工件(jiàn)盤有(yǒu)效鍍膜尺寸(cùn) | φ1900mm |
基闆回(huí)轉(zhuǎn)速度(dù) | 3r/min-30r/min(可(kě)變(biàn)) |
晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
蒸發(fà)源 | E型電(diàn)子槍2套(tào) |
離子源 | GTRF23 |
真(zhēn)空(kōng)排气(qì) | 機(jī)械泵+分(fēn)子泵/低(dī)温(wēn)泵/+深冷捕集泵 |
基本(běn)性(xìng)能(néng)：
极限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
排气(qì)时間(jiān) | 大(dà)气(qì)-3.0x10-3Pa/12min/常温(wēn)空(kōng)载(zài) |
基闆温(wēn)度(dù) | 最(zuì)高(gāo)350℃ |
工作(zuò)条(tiáo)件(jiàn)：
空(kōng)間(jiān)要(yào)求 | 約3.7m（宽(kuān)）x5.5m（深）x2.8m（高(gāo)） |
電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約80kw |
冷卻水要(yào)求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
壓縮空(kōng)气(qì) | 0.6MPa |
設備重量(liàng) | 約13000kg |
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設備特(tè)點(diǎn)：
· 腔体尺寸(cùn)φ600-φ2700mm
· 高(gāo)離子流密度(dù)射頻離子源
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极限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
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電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約80kw |
冷卻水要(yào)求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
壓縮空(kōng)气(qì) | 0.6MPa |
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