清(qīng)空(kōng)记录(lù)
曆史记录(lù)
取(qǔ)消
清(qīng)空(kōng)记录(lù)
曆史记录(lù)
GT-1150直(zhí)接光控光學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜機(jī)
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GT系(xì)列高(gāo)端光學(xué)真(zhēn)空(kōng)鍍膜設備用(yòng)于(yú)制備近(jìn)紫外(wài)波(bō)段(duàn)至(zhì)近(jìn)紅(hóng)外(wài)波(bō)段(duàn)的(de)窄(zhǎi)带(dài)濾光膜以(yǐ)及(jí)IR-CUT等規整及(jí)非規整膜系(xì)。
設備特(tè)點(diǎn)：
· 腔体尺寸(cùn)φ1150-φ1800mm
· 高(gāo)精度(dù)直(zhí)接/間(jiān)接光學(xué)膜厚監控系(xì)統
· 高(gāo)離子流密度(dù)射頻離子源
· 双電(diàn)子槍，多(duō)點(diǎn)和(hé)环型坩埚可(kě)鍍100层(céng)以(yǐ)上(shàng)
· ACS全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜控制系(xì)統實(shí)現(xiàn)全(quán)自(zì)動(dòng)鍍膜过(guò)程
· 工件(jiàn)架可(kě)選择球傘(sǎn)式、行星(xīng)式或(huò)翻轉(zhuǎn)式
· 排气(qì)系(xì)統低(dī)真(zhēn)空(kōng)泵組+高(gāo)真(zhēn)空(kōng)泵組+深冷
GT-1150主(zhǔ)要(yào)規格參數：
| 真(zhēn)空(kōng)腔室(shì)尺寸(cùn) | SUS304 φ1150mmx1300mm（H） |
| 工件(jiàn)盤有(yǒu)效鍍膜尺寸(cùn) | φ1042mm |
| 基闆回(huí)轉(zhuǎn)速度(dù) | 3r/min-30r/min(可(kě)變(biàn)) |
| 光學(xué)膜厚監控 | 直(zhí)接監控 波(bō)长(cháng)範圍：360nm-2400nm 波(bō)长(cháng)精度(dù)：＜±1nm 監控器类型：透射 |
| 晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
| 蒸發(fà)源 | E型電(diàn)子槍2套(tào) |
| 離子源 | GTRF17 |
| 真(zhēn)空(kōng)排气(qì) | 機(jī)械泵+分(fēn)子泵/低(dī)温(wēn)泵/+深冷捕集泵 |
基本(běn)性(xìng)能(néng)：
| 极限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
| 排气(qì)时間(jiān) | 大(dà)气(qì)-3.0x10-3Pa/12min/常温(wēn)空(kōng)载(zài) |
| 基闆温(wēn)度(dù) | 最(zuì)高(gāo)350℃ |
工作(zuò)条(tiáo)件(jiàn)：
| 空(kōng)間(jiān)要(yào)求 | 約2.7m（宽(kuān)）x4.6m（深）x2.7m（高(gāo)） |
| 電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約60kw |
| 冷卻水要(yào)求 | 100L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
| 壓縮空(kōng)气(qì) | 0.6MPa |
| 設備重量(liàng) | 約4500kg |
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· 高(gāo)精度(dù)直(zhí)接/間(jiān)接光學(xué)膜厚監控系(xì)統
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| 真(zhēn)空(kōng)腔室(shì)尺寸(cùn) | SUS304 φ1150mmx1300mm（H） |
| 工件(jiàn)盤有(yǒu)效鍍膜尺寸(cùn) | φ1042mm |
| 基闆回(huí)轉(zhuǎn)速度(dù) | 3r/min-30r/min(可(kě)變(biàn)) |
| 光學(xué)膜厚監控 | 直(zhí)接監控 波(bō)长(cháng)範圍：360nm-2400nm 波(bō)长(cháng)精度(dù)：＜±1nm 監控器类型：透射 |
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基本(běn)性(xìng)能(néng)：
| 极限真(zhēn)空(kōng) | 8.0x10-5Pa |
| 排气(qì)时間(jiān) | 大(dà)气(qì)-3.0x10-3Pa/12min/常温(wēn)空(kōng)载(zài) |
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工作(zuò)条(tiáo)件(jiàn)：
| 空(kōng)間(jiān)要(yào)求 | 約2.7m（宽(kuān)）x4.6m（深）x2.7m（高(gāo)） |
| 電(diàn)源要(yào)求 | 3相4線(xiàn)380v50Hz、約60kw |
| 冷卻水要(yào)求 | 100L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
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